КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ — разрушение поверхности твердого тела при бомбардировке ее ионами. Первоначально наблюдалось как разрушение катодов в электровакуумных и газоразрядных приборах. Используется для очистки поверхностей.

Значения в других словарях

1. КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ — Разрушение тв. тел при бомбардировке их поверхности атомами, нонами и нейтронами (впервые наблюдалось как разрушение катода в газовом разряде). Продукты распыления — атомы, положит. и отрицат. ионы, а также нейтр. и ионизиров. ат. комплексы (кластеры).  Физический энциклопедический словарь
2. Катодное распыление — Ионное распыление, разрушение отрицательного электрода (катода) в газовом разряде под действием ударов положительных ионов. В более широком смысле — разрушение твёрдого вещества при его бомбардировке заряженными или нейтральными частицами. К.  Большая советская энциклопедия