КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ — разрушение поверхности твердого тела при бомбардировке ее ионами. Первоначально наблюдалось как разрушение катодов в электровакуумных и газоразрядных приборах. Используется для очистки поверхностей.

Источник: Большой энциклопедический словарь на Gufo.me

Значения в других словарях

  1. КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ — Разрушение тв. тел при бомбардировке их поверхности атомами, нонами и нейтронами (впервые наблюдалось как разрушение катода в газовом разряде). Продукты распыления — атомы, положит. и отрицат. ионы, а также нейтр. и ионизиров. ат. комплексы (кластеры). Физический энциклопедический словарь
  2. Катодное распыление — Ионное распыление, разрушение отрицательного электрода (катода) в газовом разряде под действием ударов положительных ионов. В более широком смысле — разрушение твёрдого вещества при его бомбардировке заряженными или нейтральными частицами. К. Большая советская энциклопедия