ФОТОРЕЗИСТЫ

ФОТОРЕЗИСТЫ — органические материалы, чувствительные к оптическому излучению видимой и ультрафиолетовой области. Наиболее широко используются в микроэлектронике при создании искусственных спутников, запоминающих устройств и др. по методу планарной технологии для формирования заданного рельефного рисунка на поверхности полупроводника или диэлектрической основы перед ее легированием.

Значения в других словарях

1. фоторезисты — ФОТОРЕЗИСТЫ светочувствит. материалы, применяемые в фотолитографии для формирования рельефного покрытия заданной конфигурации и защиты нижележащей поверхности от воздействия травителей. Ф. обычно представляют собой композиции из светочувствит. орг.  Химическая энциклопедия