микроинтерферометр

Значения в других словарях

1. Микроинтерферометр — Прибор, применяемый для измерений неровностей на наружных поверхностях с направленными следами механической обработки, а также для определения толщины плёнок, величины малых перемещении и т. и. Впервые М. разработаны В. П. Линником в 1933. Большая советская энциклопедия
2. микроинтерферометр — орф. микроинтерферометр, -а Орфографический словарь Лопатина