электрический разряд в газе, возникающий вэлектрическом поле высокой частоты. По способу подведения энергииразличают: электродный, безэлектродный, одноэлектродный, СВЧ-разряд вобъемных резонаторах и радиоволноводах.





Ссылка на выделенный текст