изучает химические процессы в низкотемпературной плазме иосновы плазмохимической технологии. Типичные промышленные плазмохимическиепроцессы - синтез ацетилена из природного газа, производство сверхчистыхматериалов, напр. пленок кремния, используемых в полупроводниковойэлектронике.





Ссылка на выделенный текст