определение химического состава микрообъемов или тонкихслоев твердых тел. Проводят методами электронной микроскопии (в сочетаниис рентгеновским спектральным анализом), электронографии,масс-спектрометрии вторичных ионов и др.





Ссылка на выделенный текст