определение химического состава микрообъемов или тонкихслоев твердых тел. Проводят методами электронной микроскопии (в сочетаниис рентгеновским спектральным анализом), электронографии,масс-спектрометрии вторичных ионов и др.




Ссылка на выделенный текст