искажения электронно-оптическихизображений. Среди аберраций осесимметричных приборов наибольшую рольиграют: сферическая аберрация, кома, астигматизм, кривизна поляизображения и дисторсия, хроматические аберрации (искажения, обусловленныенемоноэнергетичностью пучка электронов).





Ссылка на выделенный текст