1. Большой энциклопедический словарь

ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ

ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ (ионная имплантация) — введение посторонних (примесных) атомов внутрь твердого тела путем бомбардировки его ионами; способ легирования полупроводников.

Источник: Большой энциклопедический словарь на Gufo.me

Значения в других словарях

  1. ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ — (ионное легирование, ионная имплантация), введение посторонних атомов внутрь тв. тела бомбардировкой его поверхности ионами. Ср. глубина проникновения ионов в мишень тем больше, чем больше энергия ионов (ноны с энергиями ?... Физический энциклопедический словарь
  2. Ионное внедрение — Ионное легирование, введение посторонних атомов внутрь твёрдого тела путём бомбардировки его поверхности ионами. Средняя глубина проникновения ионов в мишень тем больше, чем больше энергия ионов (ионы с энергиями ~ 10—100 кэв проникают на глубину... Большая советская энциклопедия