ИОННАЯ ОТКАЧКА
ИОННАЯ ОТКАЧКА — способ получения вакуума, основанный на ионизации откачиваемого газа и перемещении ионов электрическим полем в область, где они нейтрализуются и удаляются (поглощаются).
Источник:
Большой энциклопедический словарь
на Gufo.me