Словарь галлицизмов русского языка

субтилизация

СУБТИЛИЗАЦИЯ и, ж. subtilisation f. хим. Размельчение, измельчение. Мак. 1908. — Лекс. Ян. 1806: субтилизация.

Исторический словарь галлицизмов русского языка. - М.: Словарное издательство ЭТС. Николай Иванович Епишкин, 2010.